目前市場(chǎng)上提供的商品掃描電鏡分為兩類(lèi)：場(chǎng)發(fā)射掃面掉進(jìn)（FEG SEM）和常規(guī)掃描電鏡（ConventionalSEM，簡(jiǎn)稱(chēng)（C SEM）。

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡屬于高分辨型電鏡，使用場(chǎng)發(fā)射槍?zhuān)缤惨粋€(gè)2000W特種電源，亮度高，可以照明樣品各個(gè)部位的細(xì)節(jié)，電子束斑直徑不小于1nm。能把樣品1nm尺度的細(xì)節(jié)成像，可以真正實(shí)現(xiàn)低加速電壓下工作。提供的高分辨率圖像可以與同樣放大倍率下的透射電鏡圖像進(jìn)行對(duì)比?，F(xiàn)代FEG SEM克服了早期電子源不穩(wěn)定和使用麻煩的缺點(diǎn)，場(chǎng)發(fā)射電子槍參數(shù)一經(jīng)設(shè)定后，全部由計(jì)算機(jī)控制，使用是只需要選定加速電壓就可以操作，幾十調(diào)10萬(wàn)倍圖案，也是輕而易舉的事情。為此電鏡廠家在電子槍的選用、透鏡像差校正、信號(hào)探測(cè)和高真空系統(tǒng)等方面進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)和制造，追求分辨率的提高，由此可見(jiàn)，分辨率值使反應(yīng)電鏡綜合性能的唯一指標(biāo)。FEG SEM目前已經(jīng)大量應(yīng)用于半導(dǎo)體、電腦、材料等領(lǐng)域。

常規(guī)掃描電鏡

常規(guī)掃描電鏡使用熱電子槍?zhuān)c場(chǎng)外發(fā)射槍相比，相當(dāng)10W白熾燈，亮度有限，束斑直徑較大。兩種電鏡分辨相差不大，但想要獲得一張3NM分辨率的圖像，不是任何一個(gè)人是可以實(shí)現(xiàn)的，這已經(jīng)是目前的極限值。至于放大倍率可達(dá)到300kx，則沒(méi)有任何實(shí)際意義，因?yàn)槭咧睆矫黠@大于該倍率下的像元值，分辨率受到束斑直徑的限制，但是對(duì)于大量的常規(guī)檢測(cè)，這種電鏡因其價(jià)格便宜，適用性強(qiáng)，維護(hù)費(fèi)用低而不可或缺

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